薄膜热敏电阻的制作方法

yu9988

薄膜热敏电阻的制作方法，属于微机电系统(MEMS) 领域。该方法首先在硅片上沉积一层牺牲层；在其上旋涂PI 预聚体，经热固化形成PI 薄膜；然后旋涂光刻胶，光刻图形化后溅射所需的金属热敏薄膜层；采用剥离的方法得到热敏薄膜层图形；之后再旋涂光刻胶，光刻图形化后电镀形成电连接金属层；去胶后可以对热敏电阻进行热处理；最后沉积一层聚对二甲苯保护层，去除牺牲层后得到柔性薄膜电阻阵列。本发明工艺简单，热敏电阻的连接性更为可靠，导线电阻的干扰也较小，使得其作为传感器敏感元件时测量精度大为提高，且能够在保证感器敏感性的条件下，应用于潮湿、水下等环境。